半導体エッチング装置/プロセスエンジニア

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プロセス設計は
手ごわいパズルに挑むようなもの。
難しければ難しいほど、楽しめる。

S.U.
2001年入社
株式会社日立ハイテク 笠戸地区

不利な条件を技術と構想力で逆転。この達成感は、クセになる。

半導体製造装置の世界は群雄割拠。低圧処理やプラズマの均一性など、他社を圧倒する技術で優位に立つ場面もありますが、中には不利なコンペもあります。そこを工夫次第でいくらでも勝機を見いだせるのが、プロセス設計のおもしろさ。
ほらF1とかでも、メカニックのサポートやドライバーの技術でカバーして優勝したりするじゃないですか。あれと同じように、処理膜の組み合わせやパターンを切り分ける手順など、他社が思いつかない設計で逆転。そんな場面が何度もありました。
要求仕様に対して、ガス、温度、圧力、処理の手順など、条件の組み合わせは無限。

いってみればパズルを解くような面白さが、プロセス設計にはあるんです。顧客から次々に送られてくる手ごわいパズルをどう解くか。解いては優位性を出し、解いては信頼を積み重ねて、ゼロから大きな取引に育て上げたのが、現在担当する韓国の半導体メーカーです。
たとえばハードマスク工程で、パターンが密集している部分と点在している部分の性能差を解消。こうした斬新なエッチングプロセスを生産ラインに乗せるために、3年がかりで協議を重ね、ついに量産化に成功。その間、先方の技術者や日立ハイテクコリアのメンバーと数えきれないほどマッコリを酌み交わしました。
まだキャリア数年の若手時代のことです。年齢や経験年数に関係なく、意欲があればいくらでも任せてもらえるのが、日立ハイテク。
せっかく挑戦できる環境にいるんだから、チャンスを生かして、いい意味で仕事を楽しみたい。新たな工程開拓を念頭に、これからもどんどん仕掛けていくつもりです。

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