エッチング性能を大きく左右する「下部電極」
その設計ノウハウをどこまでも究めたい。
H.K.
1999年入社
株式会社日立ハイテク 笠戸地区
私が所属する製品設計第2グループでは、関係部署と連携して仕様を決定し、全体を見ながら電気設計や機構設計の差配を進めています。いってみれば装置設計の窓口的な役割ですね。もちろん、機構設計を中心にグループ独自の設計テーマもたくさんあります。 たとえば、ここ数年にわたって継続的に手がけている下部電極の設計。その名の通りウェーハの下に直接設置する電極で、ウェーハにいちばん近い位置にあるために、エッチングの制御にダイレクトに影響するユニットです。
きっかけは数年前、多機能にわたる顧客からの要望に対応すべく、過去に例がないほどの設計変更に挑戦。その技術的な核となったのが、ウェーハの温度や電位の制御を司る下部電極で、試行錯誤を重ねた末、ヒーターによる加熱方式の電極で所期の要求性能を実現。現在では当社のエッチング装置の大半で、この制御方式の電極が採用されています。
もちろん装置性能を左右する重要なユニットですから、下部電極の設計にゴールはありません。研究開発部門の電極開発チームともコラボしながら、性能の改善や新たなブレークスルーに日々挑戦中。愛着あるユニットでもあり、いずれは「下部電極のことは北田に聞け」といわれるくらいのスペシャリストに…と、心ひそかに狙っています。
私は、笠戸地区のある下松市のお隣、周南市の出身。子どものころから「大人になったら、この大きな工場で働きたいな」と夢を広げ、微細加工技術の研究に没頭した学生時代を経て、思い描いた通りの未来を手に入れました。今の目標は、中国をはじめとするアジアでのさらなる拡販。当面は5年後に照準を定め、ブレークスルーを加速させます。
